SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD,申请号JP19960230293-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号	JPH1074920(A)	申请公布日期	1998.03.17
申请号	JP19960230293	申请日期	1996.08.30
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD	发明人	SHIRAI YOSHIFUMI;SUZUMURA MASAHIKO;HAYAZAKI YOSHIKI;SUZUKI YUJI;KISHIDA TAKASHI;TAKANO JINRO;YOSHIDA TAKESHI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L23/52;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12;H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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