Surface analysis using mass spectrometry

摘要

Um den Inhalt der Oberflächen von Festkörpern der massenspektrometrischen Analyse zugänglich zu machen, müssen die zu analysierenden Moleküle in die Gasphase gebracht werden. Dies wird mit einem sehr scharf fokussierten, vorzugsweise gepulsten Laser durchgeführt. Die Fokussierung des Laserstrahls auf die Oberfläche wird mit einem Spiegel, welcher möglichst nah und senkrecht über der zu untersuchenden Oberfläche montiert ist, durchgeführt. Um eine präzise Fokussierung des Laserstrahls zu erreichen, wird der Laserstrahl mit einem einzigen optischen Element gleichzeitig umgelenkt und auf die Oberfläche der Probe fokussiert. In der Mitte des Spiegels ist entweder ein Loch für den Durchtritt desorbierten Materials vorgesehen, oder letzteres wird am Spiegel vorbei ins Massenspektrometer eingelassen. Die erfindungsgemäße Anordnung kann in vorteilhafter Weise mit einem Flugzeit-Massenspektrometer derart kombiniert werden, daß sie in Beschleunigungsrichtung der Ionen gesehen, hinter der Ionenquelle des Flugzeit-Massenspektrometers plaziert wird. <IMAGE>