发明名称 FORMATION OF PARTIALLY VAPOR DEPOSITED METALLIC FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1072660(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960232119 申请日期 1996.09.02
申请人 TANAKATAKASHI SHOTEN:KK;SHINWA SANGYO KK 发明人 NOMA SHINICHIRO
分类号 C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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