发明名称 |
FORMATION OF PARTIALLY VAPOR DEPOSITED METALLIC FILM AND DEVICE THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH1072660(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
申请号 |
JP19960232119 |
申请日期 |
1996.09.02 |
申请人 |
TANAKATAKASHI SHOTEN:KK;SHINWA SANGYO KK |
发明人 |
NOMA SHINICHIRO |
分类号 |
C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|