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发明名称 ABTASTPRÜFUNGSSCHALTUNG MIT SCHNELLEM ÜBERTRAGUNGSGATESCHALTER
摘要
申请公布号 DE69406942(T2) 申请公布日期 1998.03.19
申请号 DE19946006942T 申请日期 1994.09.12
申请人 QUALITY SEMICONDUCTOR, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 AMITAI, ZWIE, SUNNYVALE, CA 94086, US;MUEGGE, MARK, SANTA CLARA, CA 95050, US
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;G06F11/22;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;(IPC1-7):G06F11/26;H01L23/532 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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