SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE,申请号JP19960231185-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号	JPH1074837(A)	申请公布日期	1998.03.17
申请号	JP19960231185	申请日期	1996.08.30
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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