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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1072669(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960249025 申请日期 1996.08.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOIZUMI KOJI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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