发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING OXIDE SINGLE CRYSTAL FILM BY LIQUID PHASE EPITAXY AND PRODUCTION OF OXIDE SINGLE CRYSTAL FILM THEREWITH |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1072280(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
申请号 |
JP19960248989 |
申请日期 |
1996.08.30 |
申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
SHIMOKATA MIKIO;FUJII TAKASHI;TAKAGI HIROSHI |
分类号 |
C30B19/10;(IPC1-7):C30B19/10 |
主分类号 |
C30B19/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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