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发明名称 FORMATION OF COPPER WIRING
摘要
申请公布号 JPH1074708(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960229466 申请日期 1996.08.30
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KANAO HIROTO
分类号 C23C14/35;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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