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发明名称 INSPECTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1073640(A) 申请公布日期 1998.03.17
申请号 JP19960229589 申请日期 1996.08.30
申请人 SHARP CORP 发明人 MORI MASAMI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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