| 发明名称 |
HEAT INSULATION CYLINDER FOR SILICON SINGLE CRYSTAL PULLING-UP DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1072292(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
| 申请号 |
JP19960229739 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
IBIDEN CO LTD |
发明人 |
KATO KOJI;SATO MASAYUKI;TAKAGI TAKASHI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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