以一组至少两个激光脉冲处理存储器连接线的方法

摘要

一组(50)激光脉冲(52)被用来切断存储器或其它集成电路芯片中的导电连接线(22)。该组(50)的周期优选短于500ns；且该组(50)中的每个激光脉冲(52)的脉冲宽度优选在约0.1ps至30ns的范围之内。该组(50)可被传统激光定位系统(62)视为单一“脉冲”，以执行移动中的连接线去除，而不需每当激光系统(60)在每个连接线(22)上发射该组(50)激光脉冲(52)时即停止。传统红外线波长或其谐波可加以利用。

主权项

1.一种从选定连接线结构的位置有选择地去除目标材料的方法，每个连接线结构包含导电的冗余存储器或集成电路连接线，该连接线位于在基底上制成的电路中的一对导电触点之间，每个连接线具有连接线宽度，所述方法包括：提供代表一个或多个在所述电路中的导电连接线位置的光束定位数据至光束定位器，该光束定位器调整在激光光点位置与所述基底之间的相对移动；在短于1000纳秒的第一时间区间内，从第一激光器产生具有25微微秒与30纳秒之间脉冲宽度的至少一个第一激光输出脉冲，该第一激光输出脉冲还具有第一激光光点，该第一激光光点具有大于所述连接线宽度的光点尺寸；根据所述光束定位数据引导所述第一激光输出脉冲，使得所述第一激光光点照射在第一触点之间的第一导电连接线的第一位置；在所述第一时间区间内，从第二激光器产生具有25微微秒与30纳秒之间脉冲宽度的至少一个第二激光输出脉冲，该第二激光输出脉冲还具有第二激光光点，该第二激光光点具有大于所述连接线宽度的光点尺寸；根据所述光束定位数据引导所述第二激光输出脉冲，使得所述第二激光光点照射所述第一导电连接线的第一位置，使得所述第一与第二激光光点重叠，且所述第一与第二激光输出脉冲起去除在所述第一位置的目标材料的作用；在短于1000纳秒且在时间上偏离所述第一时间区间的第二时间区间内，从所述第一激光器产生具有25微微秒与30纳秒之间脉冲宽度的至少一个第三激光输出脉冲，该第三激光输出脉冲还具有第三激光光点，该第三激光光点具有大于所述连接线宽度的光点尺寸；根据所述光束定位数据引导所述第三激光输出脉冲，使得所述第三激光光点照射第二触点之间的第二导电连接线的第二位置，其不同于所述第一位置；在所述第二时间区间内，从所述第二激光器产生具有25微微秒与30纳秒之间脉冲宽度的至少一个第四激光输出脉冲，该第四激光输出脉冲还具有第四激光光点，该第四激光光点具有大于所述连接线宽度的光点尺寸；根据所述光束定位数据引导所述第四激光输出脉冲，以照射所述第二导电连接线的第二位置，使得所述第三与第四激光光点重叠且所述第三与第四激光输出脉冲起去除在所述第二位置的目标材料的作用。