| 发明名称 |
LOCALISATION DE DEFAUTS D'UNE COUCHE METALLIQUE D'UN CIRCUIT SEMICONDUCTEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2742871(B1) |
申请公布日期 |
1998.03.13 |
| 申请号 |
FR19950015786 |
申请日期 |
1995.12.22 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
MARTY MICHEL;BRUN ALAIN |
| 分类号 |
G01R31/311;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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