| 摘要 |
<p><P>L'invention concerne une valve à membranes à trois voies.<BR/>Elle comporte un bâti (11) dans une chambre intérieure ouverte (34) duquel débouchent trois canaux d'écoulement (12). Cette chambre est divisée en une chambre centrale (110), une chambre supérieure (114) et une chambre inférieure (112). Des sièges de valve (36, 38) sont situés entre ces chambres et un ensemble à tige central (40) de valve est monté de façon coulissante et porte des éléments d'obturation (42, 44) à membranes. Un ressort (90) rappelle l'ensemble à tige pour placer les éléments d'obturation et les sièges dans une première position prédéterminée. Un moyen actionneur (18) à piston (60) permet d'amener la valve dans une seconde position.<BR/>Domaine d'application: distribution de fluides corrosifs, notamment pour la fabrication de circuits intégrés, etc.</P></p> |
