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发明名称
Gerät zum Nachweis fremder Teilchen
摘要
申请公布号
DE69128224(T2)
申请公布日期
1998.03.12
申请号
DE19916028224T
申请日期
1991.09.11
申请人
NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
HAGIWARA, TSUNEYUKI, NERIMA-KU, TOKYO, JP;HAYANO, FUMINORI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88;G01N21/47
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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