发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR20070022350(A) 申请公布日期 2007.02.26
申请号 KR20067027436 申请日期 2006.12.27
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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