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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING CONTROLLED MIXTURE OF ORGANIC VAPOR AND INERT GAS
摘要
申请公布号 KR100687382(B1) 申请公布日期 2007.02.26
申请号 KR20000021193 申请日期 2000.04.21
申请人 发明人
分类号 B01J4/02;H01L21/02;C23C16/448;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 B01J4/02
代理机构 代理人
主权项
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