发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen
摘要
申请公布号 DE69128869(D1) 申请公布日期 1998.03.12
申请号 DE19916028869 申请日期 1991.11.15
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IGAKI, MASAHIKO, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号 G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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