发明名称 圆锥形靶用磁铁构造
摘要 本创作系有关于一种「圆锥形靶用磁铁构造」之新式样设计,系供安装于半导体元件材料层溅散沉积设备之电浆蒸汽沉积室内者。如图所示者:本创作之外观大致近漏斗形状,由第三图观之,上唇部的周缘往下向下微扩一小段高度后即改向内收缩。由第一图观之,上唇部四周由多数根圆柱体所围成,上缘表面有多数个小圆孔分两圈规则排列。由第四、五图观之,其底部偏向前侧,并非倚在正,并有锁固用孔洞。整体而言,本创作造形相当美观大方、且式样新颖具创作性,实为一特殊且实用之产品设计。上述说明仅供辅助了解本创作而非用以限制其内容;理应明了,新式样系就其整体形状、花纹、或色彩指定之,且系以申请专利范围所界定者为准。
申请公布号 TW328516 申请公布日期 1998.03.11
申请号 TW086302285 申请日期 1997.03.20
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 艾维.坦伯门
分类号 主分类号
代理机构 代理人 康伟言 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 一种如图所示「圆锥形靶用磁铁构造」之形状者 。图示简 单说明:第一图所示系本创作之立体图;第二图所 示系本 创作之前视图;第三图所示系本创作之后视图;第 四图所 示系本创作之右侧视图;第五图所示系本创作之左 侧视图 ;第六图所示系本创作之俯视图;以及第七图所示 系本创 作之仰视图。
地址 美国