根据基准画面来检测缺陷的检查系统和方法

摘要

一种检查晶片的晶片检查系统和方法。该方法包括：获取覆盖第一区域的多幅画面，该第一区域包括管芯和包围该管芯的第一包围区域；其中各画面部分地重叠，给出重叠区域；和处理重叠区域的分解的像序列，以便使未对准的画面相互对准，并产生管芯基准像。