发明名称 Method and device for the generation of electron beams
摘要 <p>Das Verfahren dient zur Erzeugung eines Elektronenstrahles. Es werden von einer Kathode (1) Elektronen emittiert und von einem elektrischen Feld in Richtung auf eine Anode (3) transportiert. Die Anode umschließt den Elektronenstrahl bereichsweise hohlzylinderartig. Der Elektronenstrahl wird im Bereich der Anode von einem Strahlzentrierer mit Zentrierspule (9) zentriert. In einer Umgebung der Kathode ist eine Wehneltelektrode (2) angeordnet, die den Elektronenstrahl hohlzylindrisch umgibt. Die Wehneltelektrode ist mit einer Wehneltspannung beaufschlagt. Ein von der Anode abfließender Anodenstrom wird bei abgeschalteter Wehneltregelung meßtechnisch erfaßt. Der Anodenstrom wird von einer Zentriersteuerung durch Veränderung eines Zentrierspulenstromes minimiert. Anschließend wird die Wehneltspannung in Abhängigkeit vom Anodenstrom zur Annäherung an einen Anodenstromsollwert verändert. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0828280(A2) 申请公布日期 1998.03.11
申请号 EP19970112907 申请日期 1997.07.26
申请人 MAK SYSTEM GESELLSCHAFT MBH 发明人 SERMUND, GERALD, DR.
分类号 H01J37/04;H01J37/06;H01J37/24;H01J37/248;(IPC1-7):H01J3/40;H01J3/02 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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