| 发明名称 | 一种高稳定度石英谐振式力传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种压电谐振式力传感器,本传感器针对现有技术稳定性差,蠕变大,寿命短的缺陷,采用双膜片支撑结构和玻璃化转变温度较高的胶作为构件与构件粘接的粘接剂,从而使压电谐振式力传感器稳定性好,蠕变小,且寿命得到了大大的提高。 | ||
| 申请公布号 | CN1175685A | 申请公布日期 | 1998.03.11 |
| 申请号 | CN97116456.8 | 申请日期 | 1997.09.19 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 冯冠平;王晓红;朱惠忠 |
| 分类号 | G01D5/243 | 主分类号 | G01D5/243 |
| 代理机构 | 清华大学专利事务所 | 代理人 | 刘晓蕊 |
| 主权项 | 1、一种高稳定度石英谐振式力传感器，包括电极(1)、上砧(5)、谐振器(4)、下砧(3)、壳体(2)，上砧(5)的底部和下砧(3)的上部分别开有宽度略大于谐振器(4)厚度的凹槽用于固定谐振器(4)，谐振器(4)由上砧(5)和下砧(3)支撑在传感器的壳体(2)内，外力F通过上砧(5)、下砧(3)对谐振器(4)产生对径的压力，其特征是：上砧(5)的位置由膜片(6)和上支撑板(9)所组成的双膜片结构限制，膜片(6)和上支撑板(9)之间用一柱体(7)联接，构件与构件的联接均采用胶粘剂粘接。 | ||
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||