EINRICHTUNG ZUM BEHANDELN FLACHER ELEMENTE MIT EINEM PLASMAJET,申请号DE19950916875T-传众专利搜索

发明名称	EINRICHTUNG ZUM BEHANDELN FLACHER ELEMENTE MIT EINEM PLASMAJET
摘要
申请公布号	DE807964(T1)	申请公布日期	1998.03.12
申请号	DE19950916875T	申请日期	1995.04.11
申请人	ZAKRYTOE AKCIONERNOE OBSCESTVO NAUCNO PROIZVODSTVENNAJA FIRMA "AZ", MOSKAU/MOSKVA, RU	发明人	TOKMULIN, ISKANDER MALIKOVICH UL. VOINOV-INTERNAT, LYUBERTSY, 140013, RU;BAGRY, IGOR PETROVICH, LOBNYA, 141730, RU;BALATS, BORIS MIKHAILOVICH, MOSCOW, 111020, RU;SINYAGIN, OLEG VYACHESLAVOVICH, FRYAZINO, 141120, RU;VIROVETS, ALEKSEI BORISOVICH, MOSCOW, 127577, RU;SHAMSHURIN, VYACHESLAV GENNADIEVICH, LOBNYA, 141730, RU;ANTROPOV, ALEKSANDR MIKHAILOVICH, RAMENSKOE, 140143, RU
分类号	H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/683;H05H1/24;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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