| 摘要 |
本发明系关于一种可调整之光束传递系统(beam delivery system, BDS)，其雷射处理参数可快速改变而不需要更换光学元件。本发明提供一种用于雷射切割之可调整光束传递系统之形成方法，此方法包括下列步骤：产生原始雷射光束；以球面凹透镜发散此原始雷射光束；分别由水平方向及垂直方向修正此发散之雷射光束，其中此发散雷射光束之水平方向以一水平歪像凸透镜修正以及此发散雷射光束之垂直方向以一垂直歪像凸透镜修正；藉由变化球面凸透镜及垂直歪像凸透镜间之距离以改变聚焦透镜的数值孔径，并藉由变化球面凸透镜及水平歪像凸透镜间之距离以改变一聚焦照射点之长度及宽度；以数值孔径的变化来调整焦点之宽度以及焦点之解析度，以及变化聚焦照射点的长度及宽度来调整辐射照度同样地，本发明提供一种用于雷射切割之可调整光束传递系统，此系统包括：一球面凹透镜，用以发散来自一雷射之一原始雷射光束；一水平歪像凸透镜，藉由修正雷射光束的水平发散以调整一聚焦照射点的长度及宽度；一垂直歪像凸透镜，藉由修正雷射光束的垂直发散以调整数值孔径；及一聚焦透镜，用以将分别经水平歪像凸透镜及垂直歪像凸透镜修正的雷射光束聚焦。 |
