| 发明名称 |
Waterborne photoresists having associate thickeners |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0664490(B1) |
申请公布日期 |
1998.03.11 |
| 申请号 |
EP19940307904 |
申请日期 |
1994.10.27 |
| 申请人 |
MORTON INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
BARR, ROBERT K. |
| 分类号 |
G03F7/004;C09D4/00;C09D4/02;C09D4/06;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/031;G03F7/033;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/18;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/033 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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