| 发明名称 |
SAMPLE STAGE AND CHARGED PARTICLE RAY DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1069618(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19960226403 |
申请日期 |
1996.08.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUZUKI HIROSHI;SAITO SAKAE;TAKAHASHI YOSHIO;YAJIMA YUSUKE;KURODA KATSUHIRO |
| 分类号 |
G01R33/12;G01N1/28;G11B5/455;(IPC1-7):G11B5/455 |
主分类号 |
G01R33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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