| 发明名称 |
MASS-FLOW CONTROLLER FITTING STRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1069317(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19970129937 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
CKD CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIKATA YUICHI;SUDO YOSHIHISA;GOSHIMA KENICHI;BANDOU HIROSHI;KOJIMA AKIHIRO |
| 分类号 |
G01F1/68;C23F4/00;F16K27/00;G05D7/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G05D7/00 |
主分类号 |
G01F1/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
