| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING NUMBER OF PARTICLES GENERATED FROM SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1070164(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19970124864 |
申请日期 |
1997.04.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TAKAOKA MAKOTO;TATE NAOTO |
| 分类号 |
G06M11/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G06M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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