发明名称 MANUFACTURING METHOD AND DEVICE, WASHING METHOD AND DEVICE, PROCESSING DEVICE, LIQUID MIXING PIPING AND WASHING LIQUID FEEDING MEMBER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1070101(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960225019 申请日期 1996.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO TAKAO;SAITO AKIO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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