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发明名称 METHOD OF PLANARIZATION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1070097(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19970099534 申请日期 1997.03.12
申请人 IND TECHNOL RES INST 发明人 CHIN RAIJYO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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