发明名称 |
磊晶基板及液相磊晶生长方法 |
摘要 |
本发明提供一种磊晶基板,是通过液相磊晶生长方法在基板上层积磊晶层而成的磊晶基板,其层积在上述基板上的磊晶层中的碳浓度轮廓,与基于由碳制成的用以保持溶剂的治具供给而得到的碳浓度的±50%的浓度轮廓交叉。由此,可以提供一种磊晶基板及液相磊晶生长方法,该磊晶基板具有被调整后的任意的碳浓度轮廓,而不是通过治具的自动掺杂所产生的固定的碳浓度轮廓。 |
申请公布号 |
CN101118940A |
申请公布日期 |
2008.02.06 |
申请号 |
CN200710139910.8 |
申请日期 |
2007.08.03 |
申请人 |
信越半导体股份有限公司 |
发明人 |
樋口晋;川崎真 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01L23/00(2006.01);H01L21/208(2006.01);H01L21/22(2006.01);C30B29/00(2006.01);C30B19/00(2006.01);C30B31/08(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
高龙鑫 |
主权项 |
1.一种磊晶基板,是通过液相磊晶生长方法在基板上层积磊晶层而成的磊晶基板,其特征在于:层积在上述基板上的磊晶层中的碳浓度轮廓,与基于由碳制成的用以保持溶剂的治具供给而得到的碳浓度的±50%的浓度轮廓交叉。 |
地址 |
日本东京都 |