发明名称 SOI SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1070139(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960226284 申请日期 1996.08.28
申请人 SONY CORP 发明人 MUKAI MIKIO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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