发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1070267(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960223943 申请日期 1996.08.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 WATANABE YOSHIYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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