| 发明名称 |
METHOD OF LOW VOLATILE SOLVENT GROUP FOR FORMING THIN FILM OF NANO-POROUS AEROGELS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1070121(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19960342342 |
申请日期 |
1996.11.18 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
SMITH DOUGLAS M;JOHNSTON GREGORY P;ACKERMAN WILLIAM C;JENG SHIN-PUU;GNADE BRUCE E;STOLTZ RICHARD A;MASKARA ALOK;RAMOS TERESA |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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