发明名称 OSCILLATORY TRANSDUCER AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1070287(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960223882 申请日期 1996.08.26
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA TAKASHI;MIYAZAKI SHUNICHI
分类号 G01L1/10;B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;H01L29/78;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/10
代理机构 代理人
主权项
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