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L'invention concerne un procédé de transfert d'une couche (4) d'un substrat donneur (1) sur un substrat receveur (6) comprenant:a) une étape (S2) d'implantation ionique d'au moins une espèce dans le substrat donneur (1) destinée à former une couche de microcavités ou platelets,b) une étape (S3) de collage de la face (7) du substrat donneur (1) avec une face (8) du substrat receveur (6) par adhésion moléculaire,c) une étape de détachement à haute température pour détacher la couche (4) en contact avec le substrat receveur (6) par clivage au niveau de la couche de microcavités ou platelets formée dans le substrat donneur (1).Le procédé comprend en outre, une étape de traitement (S1) du substrat donneur (1) pour piéger les atomes de l'espèce implantée lors de l'étape a) jusqu'à une température de libération atteinte lors de l'étape c) de manière à bloquer ou limiter la formation des microcavités ou platelets en dessous de la température de libération.
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