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发明名称 DRY-ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1070110(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19970180899 申请日期 1997.07.07
申请人 HITACHI LTD;KASADO KIKAI KOGYO KK 发明人 FUJII TAKASHI;YAMAMOTO NORIAKI;SAIKAI MASAHARU;MARUMOTO MAKOTO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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