发明名称 MCM INSPECTION JIG
摘要
申请公布号 JPH1068757(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960227240 申请日期 1996.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUNAGA KOJI;INOUE HIROBUMI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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