| 发明名称 | 衬底支持装置及薄膜晶体管阵列面板的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种衬底支持装置及薄膜晶体管阵列面板的制造方法，所述衬底支持装置包括：支持所述衬底的基座；形成在所述基座边缘的支持部；和与所述支持部交迭的遮蔽框架。 | ||
| 申请公布号 | CN101144153A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200710085443.5 | 申请日期 | 2007.03.05 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 朴万植;李哲雨;吴泰浩 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L27/00(2006.01) | 主分类号 | C23C16/458(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张波 |
| 主权项 | 1.一种衬底支持装置，包括：支持所述衬底的基座；形成在所述基座边缘的支持部；及与所述支持部交迭的遮蔽框架。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||