具有管件内加热器的负载锁定室

摘要

本发明的实施例包含一加热的负载锁定室。在一实施例中,一加热的负载锁定室包含一腔体主体,其具有复数个灯组件位于至少一部份的腔体主体中。每个灯组件包含可包覆一灯之一传导管件。该传导管件延伸进入该腔体主体中,并提供一压力阻障以将该灯隔离开该腔体主体之内部体积。在另一实施例中,该传导管件之一开口端延伸穿过该腔体主体之一侧壁。该传导管件之一封闭端系由该腔体主体之内部体积包围,且以间隔该腔体主体之顶部的关系被支撑在顶部下方。该管件之开口端系密封至该腔体主体之侧壁,使得该管件之内部朝向大气打开。