发明名称 用于轨径微影系统之区域控制加热器板
摘要 一种基板加热器,其包括一烤板,其具有一上表面、一下表面及一周围侧表面(其延伸在上及下表面之间),烤板包括至少一加热元件、至少一温度感测器及复数条导线(其包括至少一导线耦合至加热元件及至少一导线耦合至温度感测器);一挡板,其通常围绕烤板之下表面及周围侧表面并与之相隔一段距离,挡板具有一内上表面(其系面向烤板之下表面)、一内侧表面(其系面向烤板之周围侧表面)、以及一下表面(其位在内上表面的对面);一图案信号层,其系形成在挡板之下表面上,其中复数条导线系电气耦合至形成在图案信号层上之相对应数量的信号迹线;以及一连接器,其系电气耦合至在图案信号层上的复数条信号迹线,适以帮助电气连接至复数条导线。
申请公布号 TW200818325 申请公布日期 2008.04.16
申请号 TW096124540 申请日期 2007.07.05
申请人 数独股份有限公司 发明人 纱丽讷丝马丁杰夫;考区大卫H QUACH, DAVID H.
分类号 H01L21/324(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/324(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 日本