摘要 |
一种基板加热器,其包括一烤板,其具有一上表面、一下表面及一周围侧表面(其延伸在上及下表面之间),烤板包括至少一加热元件、至少一温度感测器及复数条导线(其包括至少一导线耦合至加热元件及至少一导线耦合至温度感测器);一挡板,其通常围绕烤板之下表面及周围侧表面并与之相隔一段距离,挡板具有一内上表面(其系面向烤板之下表面)、一内侧表面(其系面向烤板之周围侧表面)、以及一下表面(其位在内上表面的对面);一图案信号层,其系形成在挡板之下表面上,其中复数条导线系电气耦合至形成在图案信号层上之相对应数量的信号迹线;以及一连接器,其系电气耦合至在图案信号层上的复数条信号迹线,适以帮助电气连接至复数条导线。 |