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发明名称
摘要
申请公布号 JP2723724(B2) 申请公布日期 1998.03.09
申请号 JP19910295358 申请日期 1991.11.12
申请人 NIPPON DENKI AISHII MAIKON SHISUTEMU KK 发明人 SHIMOYAMA SHINICHI
分类号 H01L27/06;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/8222;H01L23/52;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/861;H01L21/320;H01L21/822 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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