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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING METHOD AND CRYSTAL DEFECT SENSING LIQUID USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1070166(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960225209 申请日期 1996.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATO TERUO
分类号 H01L21/66;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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