发明名称 METHOD FOR COATING WITH ORGANIC MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH1070114(A) 申请公布日期 1998.03.10
申请号 JP19960226261 申请日期 1996.08.28
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 OMOKAWA SHINICHI;KATO TSUTOMU
分类号 H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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