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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1064819(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970123092 申请日期 1997.04.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 OTANI HISASHI;TAKEYAMA JUNICHI;CHIYOU KOUYUU;TAKAYAMA TORU;TAKEMURA YASUHIKO;MIYANAGA SHOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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