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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1064696(A)
申请公布日期
1998.03.06
申请号
JP19960241313
申请日期
1996.08.23
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
KOSHIMIZU CHISHIO
分类号
H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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