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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1064831(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960218655 申请日期 1996.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UESUGI HIROYUKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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