发明名称 INTERPOLATION METHOD FOR IMPURITIES IN DEFORMATION OF MESH
摘要
申请公布号 JPH1064900(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960241127 申请日期 1996.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 SHO TOSHIYUKI
分类号 H01L21/316;G06F17/50;G06T17/20;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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