发明名称 CHEMICAL DEPOSITION METHOD FOR ALUMINUM FILM
摘要
申请公布号 JPH1064851(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970086795 申请日期 1997.04.04
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 PARANJPE AJIT P
分类号 C23C16/06;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
主权项
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