| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1064848(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
| 申请号 |
JP19960213709 |
申请日期 |
1996.08.13 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OTSUKA MARI;OTSUKA KENICHI |
| 分类号 |
C23C16/42;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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