发明名称 |
DEVICE AND METHOD OF INSPECTING TRANSPARENT PLATE FOR DEFECT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1062354(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
申请号 |
JP19960235774 |
申请日期 |
1996.08.20 |
申请人 |
NACHI FUJIKOSHI CORP;TOHO TECHNO SYST:KK |
发明人 |
YASUMOTO MASAAKI;KUBO MICHIO |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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